Thermo Scientific™ Étalons de taille de particules SURF-CAL™

Description

Simplifiez la préparation des wafers d’étalonnage avec les étalons de tailles de particules Thermo Scientific™ SURF-CAL™, pour l’étalonnage et la maintenance des systèmes d’inspection de surface d’exploration (SSIS). Les dimensions de particules disponibles correspondent aux tailles de point d’étalonnage requises par les fabricants d’instruments.

Thermo Fisher Scientific™, en collaboration avec l’industrie des semi-conducteurs et SEMI, a établi des tailles de particules spécifiques à utiliser pour l’étalonnage des systèmes d’inspection de surfaces d’exploration. En collaboration avec les fabricants d’instruments, nous avons créé la gamme de produits SURF-CAL™ pour répondre aux directives de la norme SEMI.

• Les tailles disponibles sont considérées être des nœuds de dimensionnement critiques tels que définis par l’International Technology Roadmap for Semiconductors (IRTS).
• Par le dépôt de sphères en latex de polystyrène conformes aux normes NIST™ SURF-CAL™ (PSL) sur des wafers spécialement sélectionnés, vous pouvez effectuer les vérifications d’étalonnage périodiques et comparer votre scanner avec des scanners situés dans d’autres endroits.
• Vous pouvez également évaluer les performances de vos SSIS à des étapes critiques dans le procédé de fabrication.
• Tous les produits sont conditionnés en suspension dans de l’eau désionisée et filtrée dans des flacons de 50 ml à une concentration de 3 × 10⁸ particules par millilitre.

Remarque :

les produits PD1100 ou plus petits sont également disponibles à des concentrations de 10¹⁰ particules par millilitre pour les applications utilisant un analyseur de mobilité différentielle (DMA) ou d’autres techniques d’exclusion stérique.